PSWL40-080U系列经过优化设计,可提供110µm行程范围,同时保持其紧凑的外观。 该平台也可用于2轴版本XZ轴,也可用于带有X轴或Z轴的1轴版本。PS2L40-080U可与Z轴组合升级为XYZ产品,型号为PS3L40-080U-S。
闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的运动,还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。该产品可呆在一定的负载进行步进扫描动态使用。
由于其高性价比和高性能参数,该平台在光纤对准和激光写入应用中获得了极大的成功。
PSWL40-080U系列的元件由集成在带有内部杠杆传动装置的壳体中的执行器组成。 压电平台通过四个对角孔固定在基板上。纳米台可以通过两个对角螺孔安装在顶板上,由于杠杆传动在两个方向上均起作用,因此需要避免壳体和顶板之间的作用力,因为它们可能会损坏压电纳米位移平台。
产品特性
—高速响应,多轴定位
—700g承载重量
—亚纳米范围内的高分辨率
—XZ轴双向运动
选配功能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XYZ版本
应用领域
—原子力显微镜、扫描探针显微镜
—测量、计量
—光学探针、光学扫描、光束对准
—微流体技术
结构原理 位移特性 典型应用
PSWL40-080U系列技术参数