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PS3L45-030U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置XY或XYZ运动并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。
超薄型设计，外形尺寸仅有45x45x23.5mm，具有体积小巧，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。适用于空间需求的多轴运动定位场合。参数可根据客户要求定制。
PS3L45-030U系列纳米位移台内部可集成SGS位置传感器，闭环采用全闭环设计，高精度柔性系统，具有零摩擦等特点，使其具有更高的定位精度及线性精度。
压电位移台可提供SGS传感器反馈或无反馈（开环）。 对于需要紧凑的尺寸，高动态性和亚纳米级的定位分辨率，但又不需要绝对的定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。 在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。
产品特性
—XYZ位移30μm
—多种负载安装孔位
—亚纳米范围内的高分辨率
—高度紧凑的设计带来卓越的性能
选配功能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供X/XY/XZ版本
应用领域
—原子力显微镜、扫描探针显微镜
—测量、计量
—光学探针、光学扫描、光束对准
—微流体技术
结构原理 位移特性 典型应用
PS3L45-030U系列技术参数
