PT6H60-S光学平台通常需要粘接镜面的位置(例如,用于光路调整),为此,平移/倾斜系统开发了一个32mm的移动台面,可在x,y和z方向上提供运动。在两个正交轴及Z轴上的15 µm,偏转度为±0.5 mrad、旋转轴角度为1mrad。
三个平移轴的挠性铰链可确保在此平台的行程范围内实现最高程度的平行度,每个轴均具有内置的集成机械预紧力,这使得6轴压电定位器非常适合动态应用。设计用于正负偏转。
该结构具有温度补偿功能,因此周围温度的变化不会影响倾斜角度,因为镜架已预载,并且具有高刚度和夹紧频率的特点,因此可以进行动态操作。
固态挠性铰链的主要部件由金属材质制成,底板和顶板由黑色阳极氧化铝制成。
可选版本,六轴压电定位器可以与集成的应变仪测量系统一起提供。压电旋转台不仅限于用作物理定位仪器,越来越多的基于压电的旋转位移台在生物系统仪器(如针头调节或光纤对准)的高精度定位领域中也很常见。被广泛的应用于粒子跟踪、光镊、光束稳定、扫描显微镜等领域。
产品特性
—移动面:Φ32mm
—优异的位置稳定性
—可带载500g负载
—内部集成应变片传感器
毫秒级响应时间
选配功能
—可定制转接装置及定制其它固定方式
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制镜片转接工装
应用领域
—图像处理/稳定
—激光扫描/光束偏转
—高速激光束转向光学陷波
—干涉仪、光纤布拉格光栅写作
—光轴调整、天文学、动光学
运动方式 关系曲线 关系曲线
PT6H60系列外形尺寸 系列技术参数